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1500C雙溫區(qū)多通道低真空組合 式CVD系統(tǒng) TP-1500-T2ZD

TP-1500-T2ZD 是一款專為科研和工業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì)的高性能雙溫區(qū)多通道低真空組合式化學(xué)氣相沉積(CVD)系統(tǒng)。這款系統(tǒng)是由1500℃雙溫區(qū)管式爐、多通道質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)及低真空機(jī)系統(tǒng)組成。這款系統(tǒng)具有出色的溫度控制精度、穩(wěn)定性和可靠性,適用于真空或氣氛保護(hù)下各種材料的生長(zhǎng)和制備,如半導(dǎo)體材料、納米材料、薄膜材料等。


技術(shù)資料

相關(guān)產(chǎn)品

應(yīng)用領(lǐng)域

電子行業(yè): 用于制備各種金屬薄膜、氧化物薄膜、導(dǎo)電膜等;

半導(dǎo)體行業(yè): 用于制備多層膜、二氧化硅薄膜、氮化物薄膜等;

光學(xué)行業(yè): 用于制備各種光學(xué)薄膜、增透膜、反射膜等,其他領(lǐng)域:如生物醫(yī)學(xué)、新能源材料等領(lǐng)域也有廣泛的應(yīng)用。

管式爐特點(diǎn)

雙層風(fēng)冷殼體結(jié)構(gòu);

模塊化:模塊化設(shè)計(jì)維護(hù)便捷,組合靈活;

采用真空成型工藝制作的耐火保溫材料,熱損耗小,有效地降低了設(shè)備的使用功率;

氧化鋁管塞可幫助您在管內(nèi)建立完美的溫度梯度;

觸摸屏操作,直觀顯示溫度曲線;

具有全程非線性溫度修正;

具有預(yù)約啟動(dòng)功能,節(jié)約燒結(jié)時(shí)間;

加熱元件

硅碳棒 (12根) 

最高工作溫度

1500℃(<2h)

1450℃(長(zhǎng)期工作溫度)

升降溫速率

 ≤10℃/min

加熱區(qū)長(zhǎng)度

 240+240mm

溫控系統(tǒng)

采用7寸真彩觸屏輸入、精密溫度控制器 PID方式控制,通過(guò)可控硅 SCR

可預(yù)存15條30段升降溫曲線,避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來(lái)的麻煩;

嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,智能式人機(jī)對(duì)話模式,實(shí)驗(yàn)過(guò)程更加直觀,操作更加便捷;

非線性式樣溫度修正;

帶有超溫及斷偶保護(hù)

控溫精度

±1℃

爐管材質(zhì)和尺寸

高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管

外徑: 60 mm:內(nèi)徑: 50mm x1200 mm L(標(biāo)配)

外徑: 80 mm:內(nèi)徑: 70mm x1200 mm L(選配)

密封法蘭

一套不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表和密封閥門

漏率達(dá)5X10-9 Pam3/s

輸入電源

 AC 220V, 單相, 50/60Hz, 功率:6KW

真空系統(tǒng)和配件

抽速m/h(L/s):4(1.1)

極限分壓強(qiáng)-無(wú)氣鎮(zhèn)(Pa):5×10-2

進(jìn)排氣連接口DN(mm):KF25

用油量(L):0.6L

壓阻皮拉尼復(fù)合型規(guī)管:

測(cè)量范圍:1.0×10-2~1.067×105Pa

測(cè)量精度:1.0*103Pa ~1.067*105 Pa  ±0.15%的滿量程

     1.0×10-1~1.0×102Pa   ±10%的讀數(shù)

波紋管:KF25*800

油霧過(guò)濾器:KF25

卡箍及鏈接管件(焊接):KF25

連接管件:高真空手動(dòng)隔斷閥

采用氟膠圈密封快卸法蘭接口漏率:達(dá)5X10-9 Pam3/s

全不銹鋼電拋光制作零件焊接漏率優(yōu)于1×10-9Pa.m3/s

氣體流量計(jì)

壓差范圍:0.05-0.4MPa

精度:±1% FS

重復(fù)精度:±0.2% FS

流量范圍:50、100、200、500、1000Sccm可供客戶選擇

流量計(jì)類型:進(jìn)口質(zhì)量流量器

接口尺寸:Φ6.35mm雙卡套接頭

連接管道:采用潔凈拋光的氣路專用耐腐不銹鋼管或耐腐蝕抗老化的聚四氟乙烯氣管(可選)

氣體轉(zhuǎn)換系數(shù):系統(tǒng)可按要求自動(dòng)轉(zhuǎn)換不同氣體密度,顯示正確流量。

外形尺寸

爐體尺寸:600*720*520mm 

混氣系統(tǒng):700*700*650mm 

真空機(jī)組:700*700*650mm

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件