液體氣相發(fā)生器加熱內(nèi)膽及注液腔體均采用一次性成型技術(shù)，無(wú)接口無(wú)焊縫，底面呈圓弧狀，無(wú)死角易清洗，延長(zhǎng)了設(shè)備的使用壽命，加熱內(nèi)膽及注液腔體均采用進(jìn)口304不銹鋼材質(zhì)，表面經(jīng)過(guò)再處理，具有抗腐蝕，難生銹的特點(diǎn)，控制系統(tǒng)采用凹凸面框保護(hù)，防止儀器加熱過(guò)程中沸液溢出，損毀溫控表，操控面板具有傾斜角度，增加了操作者的舒適感，雙排藍(lán)色LED顯示屏，讓數(shù)字顯示更清晰柔和。

   液體氣相發(fā)生器是一款廣泛適用于實(shí)驗(yàn)室中CVD或DLCVD實(shí)驗(yàn)的導(dǎo)入液體的一款經(jīng)濟(jì)高效的液體蒸發(fā)輸送系統(tǒng)。其液體流量是通過(guò)一個(gè)數(shù)字液體泵來(lái)控制，******流量為10ml/min.

   液體被蠕動(dòng)泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后，被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽，然后隨導(dǎo)入的氣體帶入到反應(yīng)腔中。

   本設(shè)備能夠?qū)С龆喾N液體，比如ETOH、SnCl?、TiCl4、SiHCl3和In(C2H5)2,還有多種有機(jī)混合物。對(duì)于研究用CVD方法生長(zhǎng)納米線(xiàn)和薄膜，是一款理想的設(shè)備。

設(shè)備參數(shù)：