ZM-1650-VIM區(qū)熔爐
ZM-1650-VIM區(qū)熔爐是一款可真空或氣氛控制的區(qū)熔系統(tǒng),設(shè)備安裝有15KW超高頻感應(yīng)電源,可對(duì)樣品快速加熱和熔化。感應(yīng)線圈可以精密勻速上下移動(dòng),用于材料提純和定向凝固。
技術(shù)資料
相關(guān)產(chǎn)品
應(yīng)用 | 材料提純,定向凝固和金屬單晶生長 |
設(shè)備特點(diǎn) | · 真空密封石英腔體,可真空或氣氛保護(hù)下加熱區(qū)熔樣品 · 最高溫度可達(dá)1650℃ · 感應(yīng)線圈可移動(dòng)(伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)),移動(dòng)行程300mm |
感應(yīng)電源 | · 輸入電壓:AC380V, 三相,50Hz · 最大輸入功率:15KW,線圈匝數(shù)4匝 · 振蕩頻率:200-500KHz |
工作溫度 | · 最高溫度:1650℃(<1hr) |
測溫元件 | · 紅外測溫儀或B型熱偶(注意:當(dāng)材料有揮發(fā)物時(shí),避免對(duì)紅外測溫儀帶來影響時(shí),建議采用B型熱偶控溫。) |
控制系統(tǒng)
| 可預(yù)存15條溫度曲線,避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩;
2.嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對(duì)話模式,實(shí)驗(yàn)過程更加直觀,操作更加便捷參數(shù):感應(yīng)線圈位置,移動(dòng)速度和行程,感應(yīng)電源輸出功率等
3.電流反饋模式:根據(jù)實(shí)際溫度實(shí)測電流,將數(shù)據(jù)整合保存,并有效減少由于感應(yīng)電流對(duì)測溫元件的損傷;非線性式樣溫度修正;
4.具有超溫報(bào)警、漏電保護(hù)等功能;具有預(yù)約啟動(dòng)功能。
|
爐管 | · Φ50或60mm高純石英管 |
坩堝尺寸 | · 石墨坩堝Ф40×200mm(直徑×高 )嵌有BN內(nèi)襯 |
法蘭 | · 當(dāng)采用B型熱偶控溫:法蘭上安裝有不銹鋼針閥,機(jī)械壓力表和KF25真空接頭;底部法蘭上帶有通氣接口(Φ6.35mm),一根熱電偶穿過法蘭接觸坩堝,用于控制溫度。 · 當(dāng)采用紅外測溫儀:法蘭上安裝有不銹鋼針閥,機(jī)械壓力表和石英觀察窗口;底部法蘭上帶有通氣接口(Φ6.35mm),和真空泵接口。 · 設(shè)有機(jī)械式安全泄壓閥,當(dāng)管內(nèi)壓力>0.02Mpa時(shí)自動(dòng)泄壓。以防止發(fā)生安全事故 |
裝樣方式 | · 下裝載 |
線圈移動(dòng)裝置 | · 線圈最大移動(dòng)行程:300mm · 采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng) · 移動(dòng)速度:0-200mm/h · 慢速移動(dòng)用于單晶生長:1-50mm/h |
水冷機(jī)
| 需要水冷卻對(duì)感應(yīng)電源和感應(yīng)線圈冷卻水冷機(jī) · 功率:2.25kW · 工作電流:2.3~13.9A · 制冷量:17401Btu/h · 水箱容量:14L · 出入水口:Rp1/2" · 水流速度:75L/min · 最大揚(yáng)程:27M |
真空度 | 可在本公司選購各種真空泵 · 標(biāo)配:10Pa(采用雙極旋片機(jī)械泵) · 選配:10-3Pa(采用分子泵系統(tǒng)) |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護(hù) |
設(shè)備尺寸 | 1000mm*1650mm*770mm |