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ZM-1650-VIM區(qū)熔爐

ZM-1650-VIM區(qū)熔爐是一款真空氣氛控制的區(qū)熔系統(tǒng),設(shè)備安裝有15KW超高頻感應(yīng)電源,可對(duì)樣品快速加熱和熔化。感應(yīng)線圈可以精密勻速上下移動(dòng),用于材料提純和定向凝固。

技術(shù)資料

相關(guān)產(chǎn)品

應(yīng)用

材料提純,定向凝固和金屬單晶生長

設(shè)備特點(diǎn)

· 真空密封石英腔體,可真空或氣氛保護(hù)下加熱區(qū)熔樣品

· 最高溫度可達(dá)1650℃

· 感應(yīng)線圈可移動(dòng)(伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)),移動(dòng)行程300mm

感應(yīng)電源

· 輸入電壓:AC380V, 三相,50Hz

· 最大輸入功率:15KW,線圈匝數(shù)4匝

· 振蕩頻率:200-500KHz

工作溫度

· 最高溫度:1650℃(<1hr

測溫元件

· 紅外測溫儀B型熱偶(注意:當(dāng)材料有揮發(fā)物時(shí),避免對(duì)紅外測溫儀帶來影響時(shí),建議采用B型熱偶控溫。)

控制系統(tǒng)

 

可預(yù)存15條溫度曲線,避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩;  

 

2.嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對(duì)話模式,實(shí)驗(yàn)過程更加直觀,操作更加便捷參數(shù):感應(yīng)線圈位置,移動(dòng)速度和行程,感應(yīng)電源輸出功率等

 

3.電流反饋模式:根據(jù)實(shí)際溫度實(shí)測電流,將數(shù)據(jù)整合保存,并有效減少由于感應(yīng)電流對(duì)測溫元件的損傷;非線性式樣溫度修正;

 

4.具有超溫報(bào)警、漏電保護(hù)等功能具有預(yù)約啟動(dòng)功能。

 

爐管

· Φ50或60mm高純石英管

坩堝尺寸

· 石墨坩堝Ф40×200mm(直徑×高 )嵌有BN內(nèi)襯

法蘭

· 當(dāng)采用B型熱偶控溫:法蘭上安裝有不銹鋼針閥,機(jī)械壓力表和KF25真空接頭;底部法蘭上帶有通氣接口(Φ6.35mm),一根熱電偶穿過法蘭接觸坩堝,用于控制溫度。

· 當(dāng)采用紅外測溫儀:法蘭上安裝有不銹鋼針閥,機(jī)械壓力表和石英觀察窗口底部法蘭上帶有通氣接口(Φ6.35mm),和真空泵接口。

· 設(shè)有機(jī)械式安全泄壓閥,當(dāng)管內(nèi)壓力>0.02Mpa時(shí)自動(dòng)泄壓。以防止發(fā)生安全事故

裝樣方式

· 下裝載

線圈移動(dòng)裝置

· 線圈最大移動(dòng)行程:300mm

· 采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)

· 移動(dòng)速度:0-200mm/h

· 慢速移動(dòng)用于單晶生長:1-50mm/h

水冷機(jī)

 

需要水冷卻對(duì)感應(yīng)電源和感應(yīng)線圈冷卻水冷機(jī)

· 功率:2.25kW

· 工作電流:2.3~13.9A

· 制冷量:17401Btu/h

· 水箱容量:14L

· 出入水口:Rp1/2"

· 水流速度:75L/min

· 最大揚(yáng)程:27M

真空度

可在本公司選購各種真空泵

· 標(biāo)配:10Pa(采用雙極旋片機(jī)械泵)

· 選配:10-3Pa(采用分子泵系統(tǒng))

質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)

設(shè)備尺寸

1000mm*1650mm*770mm