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500℃ 200*200mm 電動真空平板熱壓機(jī)PR-VHP-200D

PR-VHP-200D是一款電動真空平板式真空熱壓機(jī)，針對于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移，其可處理最大樣品尺寸為200mm*200mm*60mm。儀器最高工作溫度為500℃，在此溫度下可對樣品施加的最大壓力為25T。


技術(shù)資料

相關(guān)產(chǎn)品

基本參數(shù)

· 電源：AC220V , 50Hz ，總功率：約2.2KW

· 兩塊200mm *200mm加熱平臺，采用耐熱模具鋼制成，最高可承受溫度為500℃

· 加熱管布置在上下加熱平臺的內(nèi)部，以達(dá)到快速加熱的效果

· 兩個精密的溫控器獨(dú)立控制兩塊加熱平臺，可設(shè)置5段升降溫程序

上下加熱平臺和真空腔體

· 上下加熱平臺都安裝在真空腔體內(nèi)，上下加熱平臺尺寸：200*200mm

· 上下加熱板平面度<0.02mm（在有效面積200mm*200mm范圍內(nèi)）

· 真空腔體采用304不銹鋼制作，并焊接有加強(qiáng)筋（防止真空狀態(tài)下腔體變形），真空度可以達(dá)到10-1Pa。

· 可放入樣品最大尺寸：200mm*200mm*60mm

· 一個機(jī)械壓力表安裝在真空腔體上，用于觀察腔室內(nèi)真空度。預(yù)留的KF16接口可選擇安裝數(shù)顯真空計

· 腔體側(cè)面板設(shè)有一個φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用，并通過一個球閥控制進(jìn)氣的通斷

· 腔體側(cè)面有一個φ8mm寶塔氣嘴的出氣口，通過一個球閥控制出氣的通斷

· 腔體側(cè)面有一個KF25的抽真空接口，方便客戶匹配各種型號的真空系統(tǒng)

溫控系統(tǒng)

· 兩個精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置5段升降溫程序，控溫精度為±1℃，500度恒溫時的溫度波動±5℃，分別獨(dú)立控制兩個加熱平臺。

 

· 溫控系統(tǒng)采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)，并帶有過熱和斷偶保護(hù)。

· 最高工作溫度為：500℃（<30 min）

壓力控制系統(tǒng)

·最大壓力：25T

·加壓方式：電動加壓

·壓力精度:0.1噸

·油缸直徑為 Φ80 mm；

·油缸行程為 0-60 mm；

真空系統(tǒng)（選配）

可根據(jù)客戶實驗要求選配機(jī)械泵或分子泵組

外形尺寸

·450x550x800mm

重量

·約280Kg

質(zhì)保

· 一年質(zhì)保期，終生維護(hù)

·  特別提示：耗材部分如加熱元件、石英窗口等不包含在內(nèi)因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)