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1500℃六溫區(qū)管式爐 OP-1500-T63ZΦ200

技術(shù)資料

相關(guān)產(chǎn)品

設(shè)備特點(diǎn)

  • 六溫六控加熱系統(tǒng),溫場分布更均勻;

  • 高純硅碳棒加熱,最高工作溫度1380℃,可滿足更多CVD領(lǐng)域需求;

  • 三路質(zhì)量流量計(MFC)氣體控制,同時設(shè)置有真空系統(tǒng)配合進(jìn)出氣系統(tǒng)使用,可以實(shí)現(xiàn)自動抽真空-補(bǔ)氣循環(huán)流程,

    以最快的速度置換腔體內(nèi)部的氣氛;

  • 電動開蓋系統(tǒng),方便爐管的維護(hù)及更換;

  • 10英寸彩色觸摸液晶屏,可以設(shè)定溫度和氣體流量曲線。無需后期的人為操作,操作方便性大大提升;

  • PLC自動化控制系統(tǒng)集成了設(shè)備上所有的控制,包含加熱和各種動作都能夠在屏幕上進(jìn)行操作,并且能夠跟隨工藝曲線

    設(shè)置不同的進(jìn)氣和流量的設(shè)置,可以實(shí)現(xiàn)不同工藝下的快速組合,并且支持?jǐn)?shù)據(jù)導(dǎo)出及預(yù)存和調(diào)用配方功能。

供電電源

三相380V 50HZ

控溫精度

±1℃

額定功率

36KW

傳感器類型

S型和K型熱電偶(中間4個溫區(qū)采用單鉑銠熱電偶,前后兩個溫區(qū)采用K型熱電偶)

極限溫度

1500℃

長期工作最高溫度

1380℃

設(shè)備運(yùn)行時外殼溫度

<60℃

加熱元件

高純硅碳棒

溫區(qū)尺寸

260*240*1430mm

氣體分散裝置

進(jìn)氣端加裝分散裝置

爐管材質(zhì)

反應(yīng)燒結(jié)碳化硅

推薦升溫速率

≤3℃/min(注意:超過最大升溫速率可能會導(dǎo)致爐管斷裂)

爐管尺寸

內(nèi)徑φ18*10*2150mm

尾氣吸收裝置

加裝尾氣吸收裝置。出氣端口加尾氣冷凝集成器

爐體外形尺寸

2500*1000*1420mm

開蓋方式

電動開啟 最大角度45度

控制系統(tǒng)

1、燒結(jié)工藝曲線設(shè)置:動態(tài)顯示設(shè)置曲線,設(shè)備燒結(jié)可預(yù)存多條工藝曲線,每條工藝曲線可自由設(shè)置;

2、可預(yù)約燒結(jié),實(shí)現(xiàn)無人值守?zé)Y(jié)工藝曲線燒結(jié);

3、實(shí)時顯示燒結(jié)功率電壓等信息并記錄燒結(jié)數(shù)據(jù),并可導(dǎo)出實(shí)現(xiàn)無紙記錄;

4、具有實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程操控,實(shí)時觀測設(shè)備狀態(tài);

5、溫度校正:主控溫度和試樣溫度的差值,燒結(jié)全程進(jìn)行非線性修正。

混氣系統(tǒng)三路質(zhì)量流量控制器量程:兩路15L(其中一路為氨氣,做防腐處理),一路10L。

重量

約560KG

服務(wù)支持

1年質(zhì)保,提供終身支持(保修范圍內(nèi)不包括易耗部件,例如石英制品和密封圈等)

操作軟件可享受終身免費(fèi)維護(hù),升級。