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1500℃單溫區(qū)多通道高真空組合式CVD系統(tǒng) TP-1500-TZG

技術(shù)資料

相關(guān)產(chǎn)品

管式爐特點

雙層風(fēng)冷殼體結(jié)構(gòu);

采用真空成型工藝制作的耐火保溫材料,熱損耗小,有效地降低了設(shè)備的使用功率;

氧化鋁管塞可幫助您在管內(nèi)建立完美的溫度梯度;

觸摸屏操作,直觀顯示溫度曲線;

具有全程非線性溫度修正;

具有預(yù)約啟動功能,節(jié)約燒結(jié)時間;

加熱元件

硅碳棒 ( 8根) 

最高工作溫度

1500℃(<2h)

1450℃(長期工作溫度)

升降溫速率

 ≤10℃/min

加熱區(qū)長度

 310mm

溫控系統(tǒng)

采用7寸真彩觸屏輸入、精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR

可預(yù)存15條30段升降溫曲線,避免不同的實驗工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩;

嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,智能式人機(jī)對話模式,實驗過程更加直觀,操作更加便捷;

非線性式樣溫度修正;

帶有超溫及斷偶保護(hù)

控溫精度

±1℃

爐管材質(zhì)和尺寸

高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管

外徑: 60 mm:內(nèi)徑: 50mm x1000 mm L(標(biāo)配)

外徑: 80 mm:內(nèi)徑: 70mm x1000 mm L(選配)

密封法蘭

一套不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝機(jī)械壓力表和密封閥門

漏率達(dá)5X10-9 Pam3/s

輸入電源

 AC 220V, 單相, 50/60Hz, 功率:4KW

真空系統(tǒng)和配件

機(jī)械泵:抽氣速率4L/S

分子泵:抽氣速率100L/S

極限壓強(qiáng):6X10-6Pa

額定轉(zhuǎn)速:43000轉(zhuǎn)/分

冷卻方式:風(fēng)冷/水冷

分子泵控制電源:220V

輸出頻率:高速704Hz±10% 低速430 Hz±10%

電離規(guī)管測量范圍:100~10-5Pa

電阻規(guī)管測量范圍:105~10-1 pa

連接管件:高真空手動隔斷閥

采用氟膠圈密封快卸法蘭接口漏率:達(dá)5X10-9 Pam3/s

全不銹鋼電拋光制作零件焊接漏率優(yōu)于1×10-9Pa.m3/s

氣體流量計

壓差范圍:0.05-0.4MPa

精度:±1% FS

重復(fù)精度:±0.2% FS

流量范圍:50、100、200、500、1000Sccm可供客戶選擇

流量計類型:進(jìn)口質(zhì)量流量器

接口尺寸:Φ6.35mm雙卡套接頭

連接管道:采用潔凈拋光的氣路專用耐腐不銹鋼管或耐腐蝕抗老化的聚四氟乙烯氣管(可選)

氣體轉(zhuǎn)換系數(shù):系統(tǒng)可按要求自動轉(zhuǎn)換不同氣體密度,顯示正確流量。

外形尺寸

爐體尺寸:600*720 *520mm 

混氣系統(tǒng):700*700*650mm 

真空機(jī)組:700*700*650mm

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件