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1200℃流化床CVD(FBCVD)爐 OP-1200-LT3-FB
OP-1200-LT3-FB是一款三溫區(qū)流化床CVD爐，最高工作溫度為1200℃，額定功率為8KW。爐管可配置為25/50/60/80/100/130mm的石英管，石英管中焊接一個微孔石英板，實驗時樣品粉末放置于微孔石英板上。微孔石英板上的微孔尺寸15~40um,允許調(diào)節(jié)氣流通過微孔石英板，使粉末在爐體加熱區(qū)域懸浮起來，粉末和反應(yīng)氣體發(fā)生反應(yīng)或沉積。爐管兩端配有不銹鋼法蘭密封總成。此款設(shè)備用于粉末CVD實驗（FBCVD）。觸屏溫控系統(tǒng)可設(shè)定儲存15個30段升溫和降溫工藝曲線，其控溫精度達(dá)到±1℃。主要應(yīng)用于高溫流化床、真空燒結(jié)、氣氛保護(hù)燒結(jié)、真空鍍膜、CVD粉體實驗、物質(zhì)成分測量及等場合。
技術(shù)資料
相關(guān)產(chǎn)品
特點 | 1、采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于60℃ 2、采用真空成型工藝制作的耐火保溫材料，熱損耗小，有效地降低了設(shè)備的使用功率； 3、加熱區(qū)設(shè)計為側(cè)方開啟式，以方便與更換爐管； 4、觸摸屏操作，直觀顯示溫度曲線； 5、具有全程非線性溫度修正； 6、具有預(yù)約啟動功能，節(jié)約燒結(jié)時間（選配功能）； 7、多溫區(qū)管式爐可有效設(shè)置實驗溫度梯度和偏差，也可設(shè)置相同目標(biāo)溫度從而保證溫場均勻性（根據(jù)實際要求請聯(lián)系我們） |
基本參數(shù) | 設(shè)備功率：220V 8KW（2KW+4KW+2KW） 爐膛材質(zhì)：高純氧化鋁纖維材料+氧化鋁涂層 可達(dá)溫度：1200℃（<1小時） 連續(xù)溫度：1150℃（連續(xù)） 溫度精度：±1℃ 熱電偶:K型熱電偶 可達(dá)加熱速率：≤20℃/分鐘 爐膛尺寸：150mm*(220mm+440mm+220mm） |
爐管尺寸 | 以下幾種尺寸的高純度石英管可選： 爐管尺寸：Φ25/50/60/80/100/130*1400mm 如應(yīng)用粉體高溫流化床使用，需非標(biāo)定制帶有濾板的專用石英管 微孔石英板:多孔： 15~40 um, |
加熱區(qū) | 加熱區(qū)長度：加熱區(qū)長度：200mm+400mm+200mm |
加熱元件 | HRE高溫合金絲(表面涂有涂層，可以極大程度延長使用壽命） |
溫控系統(tǒng) | 1. 可預(yù)存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩； 2.嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對話模式，實驗過程更加直觀，操作更加便捷； 3.非線性式樣溫度修正；具有預(yù)約啟動功能。 4具有超溫報警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。 |
密封法蘭 | 密封法蘭：標(biāo)配一套不銹鋼密封法蘭;采用硅膠密封圈密封,包含鎧裝測溫接口Φ8mm； 采用帶有減震的機(jī)械壓力表，使壓力波動時產(chǎn)生阻尼，減小指針來回擺動。 氣體流動方向：下進(jìn)上出 標(biāo)配含一個浮子流量計用來控制進(jìn)入氣體流量，如需精度更高可選配質(zhì)量流量控制器。 |
真空度 | 采用機(jī)械泵組可達(dá)到5*10-1Pa（選配），采用分子泵組可達(dá)到5*10-3Pa（選配） |
凈重 | 約185kg |
質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍。 |
