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1200℃小型流化床CVD爐（帶1英寸外徑石英管和法蘭，用于粉末CVD） OP-1200-LTS-FB
OP-1200-LTS-FB是一款流化床立式管式爐，專門(mén)針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn)，爐管為高純石英管，爐管內(nèi)部嵌有一多孔石英板，石英板的孔徑可訂制范圍為5-500um.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過(guò)多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。
技術(shù)資料
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| 特點(diǎn) | ? 采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng) ? 爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式，以方便與更換爐管 ? 設(shè)有石英管防護(hù)罩，放置石英管碎裂造成人員傷害 ? 設(shè)有機(jī)械安全泄壓閥，放置石英濾板堵塞造成壓力過(guò)高造成人員傷害 ? 采用高純氧化鋁作為爐膛材料，爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口高溫氧化鋁涂層可以提高加熱效率和爐膛使用壽命 ? 專門(mén)針對(duì)粉末表面沉積的CVD實(shí)驗(yàn) | |
| 基本參數(shù) | ? 設(shè)備功率：220V 1.2KW ? 爐膛材質(zhì)：高純氧化鋁纖維材料 ? 加熱元件：HRE高溫合金絲 ? 可達(dá)溫度：1200℃（<1小時(shí)） ? 連續(xù)溫度：1150℃（連續(xù)） ? 溫度精度：±1℃ ? 熱電偶:K型熱電偶 ? 可達(dá)加熱速率：≤20℃/分鐘 ? 爐膛尺寸：80mm*200 ? 加熱區(qū)長(zhǎng)度：200mm ? 恒溫區(qū)長(zhǎng)度：100mm | |
| 爐管尺寸 | ?爐管尺寸：Φ25mm*600mm ? 爐管材料:采用高純特質(zhì)石英爐管 ? 多孔石英板孔徑：4-550μm多種規(guī)格可定制 | |
| 不銹鋼密封系統(tǒng) | 標(biāo)配一套雙硅膠密封圈密封不銹鋼密封法蘭總成,設(shè)有安全機(jī)械泄壓閥及石英管防護(hù)罩。 | |
| 真空度 | 采用機(jī)械泵組可達(dá)到5*10-1Pa（選配），采用分子泵組可達(dá)到5*10-3Pa（選配） | |
| 控制系統(tǒng) | 可預(yù)存15條溫度曲線，避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來(lái)的麻煩； | |
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嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，實(shí)驗(yàn)過(guò)程更加直觀，操作更加便捷； | ||
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非線性式樣溫度修正； | ||
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具有預(yù)約啟動(dòng)功能（選配功能） | ||
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| 系統(tǒng)保護(hù) | 具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。 | |
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| 外形尺寸 | 510*430*1000mm | |
| 凈重 | 約35KG | |
| 質(zhì)保 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，熱電偶，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | |
