瀏覽次數(shù)：484
200W 等離子射頻模塊PE-200W
該射頻電源匹配器小巧、輕便，擁有空冷式設(shè)計。高質(zhì)量的組件和較少的零件數(shù)量使可靠性和產(chǎn)品使用壽命均得以提升，從而使您的投資和制程生產(chǎn)力得到有效的利用。一個直觀、快捷的操作菜單（可在該組件的多功能前面板上切換，并顯示在一個128* 64像素的液晶顯示屏上）帶來了無比的便利性——提高了操作人員的效率，并使培訓(xùn)成本很低。此款設(shè)備配置13.56MHz的射頻輸出，可匹配普通型管式爐做等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積（PECVD）使用，是實驗室做PECVD鍍膜的理想選擇。
技術(shù)資料
相關(guān)產(chǎn)品
設(shè)備特點 | 此設(shè)備功率可以預(yù)設(shè)設(shè)置，實現(xiàn)一鍵啟動,自動匹配。 實際功率相對于設(shè)定值不會過沖，而且匹配后功率穩(wěn)定 |
基本參數(shù) | 輸入電壓：AC220V，50/60Hz 輸出功率：2W~200W ，連續(xù)可調(diào)，穩(wěn)定性：± 1% 反射功率：70W 匹配：自動匹配，空氣電容 直流電源工作氣壓范圍：0~100Pa 冷卻: 強(qiáng)制空氣冷卻 線圈直接：Φ110*180 |
尺寸 | 570mm *570mm *540mm |
保護(hù)功能 | DC過流保護(hù)，功放過溫保護(hù)，反射功率保護(hù) |
重量 | 13Kg |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù) |
