瀏覽次數(shù)：522
1200℃ PECVD等離子體化學(xué)氣相 沉積系統(tǒng) OP-1200-TS-Z4D-PE
技術(shù)資料
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品特點 | ? 爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料，保溫效果更好，節(jié)能降耗； ? 滑軌式可快速加熱和快速冷卻； ? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強，從而顯著降低實驗溫度； ? 四通道進口品牌質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控； ? 觸摸屏操作，直觀顯示溫度曲線等設(shè)置參數(shù)； ? 數(shù)據(jù)存儲功能（無紙記錄功能），可保存燒結(jié)的重要參數(shù)； 具有全程非線性溫度修正，預(yù)約啟動功能，節(jié)約燒結(jié)時間； ? 具有物聯(lián)網(wǎng)功能（WIFI），可通過手機、電腦遠(yuǎn)程對設(shè)備進行監(jiān)控，操作； ? 可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、ZnO納米管或納米線及單層石墨烯等。 | |
加熱爐參數(shù) | ? 最高工作溫度:1200℃（<30min） ? 連續(xù)使用溫度:≤1150℃； ? 控溫精度：±1℃； ? 爐膛尺寸:150*200mm ? 爐管尺寸：Φ80*1200mm ? PID觸屏溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，帶有超溫和斷偶保護 ? 輸入電源： 208-240V 4KW ? 內(nèi)爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命 ? 注意：爐管為損耗材料，購買前請與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜 | |
射頻電源 | ? 我公司現(xiàn)有300W或500W功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。 輸出功率：300/500W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%） 射頻頻率：13.56 MHz（穩(wěn)定性：±0.5%） 匹配模式：自動匹配 噪音：＜50dB 冷卻方式：風(fēng)冷 | |
真空系統(tǒng) | ? 采用VRD-16的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達(dá)10-1Pa。 搭配VRD-16的雙旋真空泵（抽速4.4L/s）（總進氣量小于150sccm，該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度） 搭配VRD-30雙旋真空泵（抽速8.3L/s）（總進氣量1L/min，該泵可以達(dá)到等離子發(fā)生真空度） | |
供氣系統(tǒng) | ? 四通道進口品牌質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.01%）； ? 流量范圍: 一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-200 sccm 四路0-500 sccm ? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：Φ6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? 集成式PLC觸摸屏可以統(tǒng)一簡便地進行氣體流量設(shè)置。 | |
| 控制系統(tǒng) | 可預(yù)存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩 | |
 |  | |
| 嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式實驗過程更加直觀，操作更加便捷； | ||
 | ||
| 非線性式樣溫度修正；具有預(yù)約啟動功能 | ||
 |  | |
 |  | |
| 產(chǎn)品尺寸 | 長1500×高1350×深830mm | |
| 重量 | 360kg | |
| 質(zhì)保 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） ? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | |
