瀏覽次數(shù)：491
1500C 500W 高溫等離子體化學(xué) 氣相沉積系統(tǒng)OP-1500-TZ3D-PE
技術(shù)資料
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料，保溫效果更好，節(jié)能降耗； ? 帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭，便于觀察等離子發(fā)光； ? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)，從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度； ? 三通道進(jìn)口品牌質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控； ? 觸摸屏操作，直觀顯示溫度曲線等設(shè)置參數(shù)； ? 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能（無(wú)紙記錄功能），可保存燒結(jié)的重要參數(shù)； 具有全程非線性溫度修正，預(yù)約啟動(dòng)功能，節(jié)約燒結(jié)時(shí)間； ? 具有物聯(lián)網(wǎng)功能（WIFI），可通過(guò)手機(jī)、電腦遠(yuǎn)程對(duì)設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控，操作； | |
加熱參數(shù) | ? 最高工作溫度:1500℃（<30min） ? 連續(xù)使用溫度:≤1400℃； ? 控溫精度：±1℃； ? 爐膛尺寸:175*160*140mm ? 爐管尺寸：Φ80*1200mm ? PID觸屏溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，帶有超溫和斷偶保護(hù)； ? 輸入電源： 208-240V 3 KW； ? 內(nèi)爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料） ? 注意：爐管為損耗材料，購(gòu)買(mǎi)前請(qǐng)與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜。 | |
射頻電源 | 輸出功率：0-500W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%） 射頻頻率：13.56 MHz（穩(wěn)定性：±0.5%） 匹配模式：自動(dòng)匹配 噪音：＜50dB 冷卻方式：風(fēng)冷 ? 我公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。 | |
真空系統(tǒng) | ? 采用VRD-16的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達(dá)10-1Pa。 | |
供氣系統(tǒng) | ? 三通道進(jìn)口品牌質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）； ? 流量范圍: 一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-500 sccm ? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進(jìn)出口配件：Φ6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出； ? 集成式PLC觸摸屏可以統(tǒng)一簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。 | |
| 控制界面 | 可預(yù)存15條溫度曲線，避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來(lái)的麻煩； | |
 |  | |
| 嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機(jī)對(duì)話模式，實(shí)驗(yàn)過(guò)程更加直觀，操作更加便捷； | ||
 | ||
| 非線性式樣溫度修正；具有預(yù)約啟動(dòng)功能（選配功能）。 | ||
 |  | |
| 具有超溫報(bào)警、斷偶提示、漏電保護(hù)等功能。 | ||
 |  | |
| 尺寸 | 1500*1350*830mm | |
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） | |
