1200℃ 三溫區(qū)PECVD等離子體化學(xué)氣相 沉積系統(tǒng) OP-1200-TS3-Z4D-PE
技術(shù)資料
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品特點(diǎn) | ? 爐襯采用高純氧化鋁輕質(zhì)纖維材料,保溫效果更好,節(jié)能降耗; ? 射頻電源可實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng),從而顯著降低實(shí)驗(yàn)溫度; ? 四通道進(jìn)口品牌質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可以對(duì)氣體的輸送進(jìn)行精確的調(diào)控; ? 觸摸屏操作,直觀顯示溫度曲線等設(shè)置參數(shù); ? 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能(無紙記錄功能),可保存燒結(jié)的重要參數(shù); 具有全程非線性溫度修正,預(yù)約啟動(dòng)功能,節(jié)約燒結(jié)時(shí)間; ? 具有物聯(lián)網(wǎng)功能(WIFI),可通過手機(jī)、電腦遠(yuǎn)程對(duì)設(shè)備進(jìn)行監(jiān)控,操作; |
加熱參數(shù) | ? 最高工作溫度:1200℃(<30min) ? 連續(xù)使用溫度:≤1150℃; ? 控溫精度:±1℃; ? 加熱區(qū)尺寸:200+200+200mm ? 爐管尺寸:Φ80*1400mm ? PID觸屏溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng),帶有超溫和斷偶保護(hù); ? 輸入電源: 380V 6.5 KW; ? 內(nèi)爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備加熱效率及反射率,同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。 ? 注意:爐管為損耗材料。 |
射頻電源 | 輸出功率:0-500W可調(diào)(穩(wěn)定性:±1%) 射頻頻率:13.56 MHz(穩(wěn)定性:±0.5%) 匹配模式:自動(dòng)匹配 噪音:<50dB 冷卻方式:風(fēng)冷 ? 我公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實(shí)驗(yàn)條件的需求。
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真空系統(tǒng) | ? 采用雙旋真空泵; ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵; ? 真空度可達(dá)10-1Pa。 |
供氣系統(tǒng) | ? 四通道進(jìn)口品牌質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%); ? 流量范圍: 通道1:0~100 sccm 通道2:0~200 sccm 通道3:0~500 sccm 通道4:0-500 sccm ? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz; ? 氣體進(jìn)出口配件:Φ6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管; ? 不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出; ? 集成式PLC觸摸屏可以統(tǒng)一簡(jiǎn)便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置,及氣體種類的切換。 |
控制系統(tǒng) | . 可預(yù)存20條溫度曲線,避免不同的實(shí)驗(yàn)工藝重復(fù)設(shè)置帶來的麻煩; 2.嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面,7寸真彩觸屏輸入,智能式人機(jī)對(duì)話模式,實(shí)驗(yàn)過程更加直觀,操作更加便捷; 3.非線性式樣溫度修正;具有預(yù)約啟動(dòng)功能(選配功能)。 |
無紙記錄 | 系統(tǒng)實(shí)時(shí)記錄試驗(yàn)數(shù)據(jù),可U盤導(dǎo)出數(shù)據(jù)
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安全保護(hù) | 具有超溫報(bào)警、斷偶提示、通訊中斷、漏電保護(hù)等功能并實(shí)時(shí)記錄。
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認(rèn)證 | CE |
外形尺寸 | 1870*800*1270mm |
質(zhì)保 | ? 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件) |