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PECVD系統(tǒng)（集成氣化裝置）
該PECVD系統(tǒng)配置高精度全封閉式液體氣化裝置，為表面薄膜沉積實驗提供包含有毒液體在內(nèi)的氣化條件。系統(tǒng)由高穩(wěn)定性射頻電源（200W，13.56MHz）、氣體流量控制系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成，采用集中總線控制技術(shù)的普若菲特操作軟件。利用等離子體特性來控制或影響氣相反應和材料表面的化學反應過程，并在 適當?shù)臏囟认鲁练e薄膜。PECVD淀積的薄膜具有優(yōu)良的電學性能、良好的襯底附著性以及極佳的臺階覆蓋性，正由于這些優(yōu)點使其在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領域具有廣泛的應用。
技術(shù)資料
相關(guān)產(chǎn)品
產(chǎn)品特點 | 1、集成液體氣化系統(tǒng)，可穩(wěn)定提供包括有毒液體在內(nèi)的反應氣體條件； 2. 清洗鍍膜一氣呵成，杜絕二次污染； 3、上開啟式結(jié)構(gòu)，方便觀察試樣； 4、產(chǎn)品采用全自動控制方式，觸摸屏，數(shù)字化顯示； 5、設備一體化程度高； 6、穩(wěn)定的射頻電源，均勻的溫度分布，提高成膜質(zhì)量； 7、出色的電磁波屏蔽方案，高效、安全！ 8、數(shù)據(jù)存儲功能（無紙記錄功能），可保存燒結(jié)的重要參數(shù)； 9、具有全程非線性溫度修正，預約啟動功能，節(jié)約燒結(jié)時間； 10、具有物聯(lián)網(wǎng)功能（WIFI），可通過手機、電腦遠程對設備進行監(jiān)控，操作； | |
加熱爐參數(shù) | ? 最高工作溫度:1200℃（<30min） ? 連續(xù)使用溫度:≤1150℃； ? 控溫精度：±1℃； ? 爐膛尺寸:150*200mm ? 爐管尺寸：Φ80*1200mm ? PID觸屏溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，帶有超溫和斷偶保護 ? 輸入電源： 208-240V 4KW ? 內(nèi)爐膛表面涂有高溫氧化鋁涂層，可以提高設備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命 ? 注意：爐管為損耗材料，購買前請與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜 | |
射頻電源 | 我公司現(xiàn)有300W或500W功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。 輸出功率：300/500W可調(diào)（穩(wěn)定性：±1%） 射頻頻率：13.56 MHz（穩(wěn)定性：±0.5%） 匹配模式：自動匹配 噪音：＜50dB 冷卻方式：風冷 | |
真空系統(tǒng) | ? 采用VRD-16的雙旋真空泵； ? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵； ? 真空度可達10-1Pa。 搭配VRD-16的雙旋真空泵（抽速4.4L/s）（總進氣量小于150sccm，該泵可以達到等離子發(fā)生真空度） 搭配VRD-30雙旋真空泵（抽速8.3L/s）（總進氣量1L/min，該泵可以達到等離子發(fā)生真空度） | |
供氣系統(tǒng) | ? 四通道進口品牌質(zhì)量流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.01%）； ? 流量范圍: 一路0-100 sccm 二路0-200 sccm 三路0-200 sccm 四路0-500 sccm ? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz； ? 氣體進出口配件：Φ6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管； ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出； ? 集成式PLC觸摸屏可以統(tǒng)一簡便地進行氣體流量設置。 | |
| 液體汽化系統(tǒng) | 1、液體和氣體會在一個蒸發(fā)器中加熱升華，最高溫度達到400℃， 2、與反應腔體之間的蒸汽輸出管道為不銹鋼管及輔助加熱帶，加熱帶最高溫度能達到150℃ 3、溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護 4、控溫精度：±10℃ 5、蒸發(fā)器額定功率：1.3KW 6、伴熱帶額定功率：75W 7、定量蒸發(fā)器有效容積：50ml（可更具客戶要求選配連續(xù)供給泵） | |
| 控制系統(tǒng) | 可預存15條溫度曲線，避免不同的實驗工藝重復設置帶來的麻煩 | |
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| 嵌入式操作系統(tǒng)中英文互換圖形界面，7寸真彩觸屏輸入，智能式人機對話模式實驗過程更加直觀，操作更加便捷； | ||
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| 非線性式樣溫度修正；具有預約啟動功能 | ||
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| 產(chǎn)品尺寸 | PECVD系統(tǒng)：長1500×高1280×深760mm 蒸發(fā)器：長410×高350×深210mm | |
| 重量 | 360kg | |
| 質(zhì)保 | ? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件） ? 因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 | |
